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美國Sonix超聲波掃描顯微鏡ECHO LS
詳細(xì)信息| 詢價留言品牌:美國Sonix 型號:ECHO LS 加工定制:否 類型:超聲波 目鏡放大倍數(shù):10000 x 10000 像素 物鏡放大倍數(shù)::10000 x 10000 像素 儀器放大倍數(shù):2-3000000倍 重量:163500 g 適用范圍:2-3000000倍 裝箱數(shù):1套 重量:163500 g 適用范圍:2-3000000倍
美國Sonix超聲波掃描顯微鏡ECHO LS
簡介
超聲波顯微鏡被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體以及集成電路的制造和封裝測試行業(yè),是一種理想的無損檢測儀器,能夠有效地檢測器件或材料內(nèi)部的開裂、氣泡、雜質(zhì)、斷層等缺陷。
工作原理
通過壓電陶瓷將電信號轉(zhuǎn)換成超聲波(>20KHz),用超聲波對樣品內(nèi)部進(jìn)行高精度地掃描,根據(jù)超聲波在不同密度材料中的傳播速度和反射系數(shù)的差異,獲得樣品內(nèi)部不同區(qū)域的超聲波透射或反射,再經(jīng)由軟件算法處理和成像。SAM的核心構(gòu)成為,電氣部件、機械裝置、聲學(xué)部件、軟件系統(tǒng)。
產(chǎn)品特點
SONIX Echo-LS 能檢測到小至 0.05um 的缺陷,而且對于 bump、疊 die(3D 封裝)、倒裝芯片及各種傳統(tǒng)的塑料封裝等具有卓越的檢測性能。提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)量,使用 ECHO 的設(shè)備和軟件容易的設(shè)置和使用
Sonix ECHO LS非破壞超聲波掃描是一款提高生產(chǎn)、簡化測試、改進(jìn)生產(chǎn)率和提高產(chǎn)能的生產(chǎn)和實驗室設(shè)備,無論是失效分析實驗室的詳細(xì)分析還是生產(chǎn)線檢測,Sonix都能提供一個易于操作的軟件解決方案。
﹡WinIC Lab (詳細(xì)失效分析工具)
﹡WinIC Production (易于操作的、新型的生產(chǎn)工具,專門用于生產(chǎn)的大量分析)
使用 ECHO 生產(chǎn)軟件改進(jìn)生產(chǎn)產(chǎn)能和提高生產(chǎn)率:
很容易設(shè)定和使用 監(jiān)測生產(chǎn)質(zhì)量
通過/失效存儲 簽定零件
被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體以及集成電路的制造和封裝測試行業(yè),是一種理想的無損檢測儀器,能夠有效地檢測器件或材料內(nèi)部的開裂、氣泡、雜質(zhì)、斷層等缺陷。
其主要工作原理是,通過壓電陶瓷將電信號轉(zhuǎn)換成超聲波(>20KHz),用超聲波對樣品內(nèi)部進(jìn)行高精度地掃描,根據(jù)超聲波在不同密度材料中的傳播速度和反射系數(shù)的差異,獲得樣品內(nèi)部不同區(qū)域的超聲波透射或反射,再經(jīng)由軟件算法處理和成像。SAM的核心構(gòu)成為,電氣部件、機械裝置、聲學(xué)部件、軟件系統(tǒng)。
產(chǎn)品特點
SONIX Echo-LS 能檢測到小至 0.05um 的缺陷,而且對于 bump、疊 die(3D 封裝)、倒裝芯片及各種傳統(tǒng)的塑料封裝等具有卓越的檢測性能。提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)量,使用 ECHO 的設(shè)備和軟件容易的設(shè)置和使用
工藝過程監(jiān)測
合格/失效分選
專*認(rèn)證
SONIX 掃描探頭頻率范圍從 10MHz 到 300MHz,適合各種類型的應(yīng)用和材料。
關(guān)鍵特點:
減少實驗室空間(占地面積。
鍵盤快捷鍵(方便移動操作)
全焊接機身框架(促進(jìn)平臺穩(wěn)定性)
降低水槽高度(人體工程學(xué)設(shè)計)
可同時進(jìn)行反射掃描和透射掃描
*大 360 度可視
超大掃描面積
水槽底部傾斜(易于排干水)
探頭隨 Z 軸移動(取代托盤上下移動)
可滑動支架
符合歐洲機械指令
緊湊、穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)設(shè)計(低維護(hù))
符合 CE,SEMI S2,NRTL
可滑動的電氣面板(方便維護(hù))
防靜電涂層(安全罩、水槽、門等)
Sonix 探頭的頻率范圍從 10MHz 到 300MHz,為能適用于所有類型的應(yīng)用和材料設(shè)計
其它特性節(jié)省潔凈室空間 整體焊接結(jié)構(gòu)(改進(jìn)平臺的穩(wěn)定性) 輕便(移動方便) 可選反射與透射同時進(jìn)行(快速偵測缺陷) 減低高度,節(jié)省成本 大面積的掃描區(qū)域(可放多個 tray 盤或大樣品) 傾斜缸底(為能徹底排水) Z 軸探頭移動(替代 tray 架子移動) 可抽出式架子(可擺放夾具和樣品) 符合 CE, SEMI S2, NRTL 設(shè)計緊湊(可節(jié)省維護(hù)成本) 在安全蓋、槽及門上有靜電涂層
美國Sonix超聲波掃描顯微鏡ECHO LS 規(guī)格
X 軸
定位裝置:線性伺服馬達(dá), 線性伺服馬達(dá)精度高,無磨損,無需定期做保養(yǎng)校正
*大掃描速度: 1000mm/秒
馬達(dá)精度: +/- 0.5 微米
線性光柵尺精度: 0.5 微米
*大掃描面積: 350mm
Y 軸 Z 軸
定位裝置:步進(jìn)馬達(dá) 定位裝置:步進(jìn)馬達(dá)
精度: 0.25 微米 精度 : 0.25 微米
*大行程: 350mm *大行程: 50mm
夾具
托盤夾具,掃描平臺以拖住整個 tray 掃描
機身尺寸和重量
. 31 inches X 31 inches X 48 inches
. or 76.66 cm X 76.66 cm X 121.92 cm
. 360lbs. or 163.5kg
過濾系統(tǒng)
. 循環(huán)泵和 5 微米過濾器,有自動水循環(huán)系統(tǒng),可把水中的雜質(zhì)過濾,大大減少雜質(zhì)對掃描結(jié)果的影響
顯示器
. 雙顯示器
其它
. 高對比度水槽底
. 360 度可見,更方便觀察樣品情況
WinIC 軟件
TAMI: 一次掃描可同時獲得*多 100 張 C 超掃描圖像, 在需要時,可自動調(diào)節(jié)焦距,可看到 IC 所有的分界 面,無需重掃,所有的分界面成像比操作者解釋波形更直觀
穿透掃描:包括穿透掃描接收器、探頭架、探頭線
掃描模式:
A scan: 點掃描模式, 示波器上顯示出反射波的相位和大小來檢測缺陷,用于確認(rèn)檢測結(jié)果
B-scan: 橫截面掃描,顯示每個界面垂直 x 方向的截面圖
C-scan: 面掃描,在一個界面對焦后顯示的平行 x 方向的圖片,檢測的缺陷: 離層, 芯片裂縫
TAMI: 多層掃描,顯示所有界面上平行于 X 方向的2 ~999 層圖象
T-scan: 穿透掃描, 和 X 射線檢測相似的以透射超聲波為信號的檢測方法
數(shù)據(jù)獲。 WinIC
圖像像素: 10000 x 10000 像素,像素指標(biāo)越高, 圖像放 大后的清晰度越好
保存圖像格式: TIFF, PCX, BMP, JPG 或其它格式
數(shù)據(jù)檢測方法: T.I 分析方法,采用 TI 方法對缺陷點進(jìn) 行分析及判斷, 會更加準(zhǔn)確.
相位檢測:有
射頻增益: 80dB,高增益使能量更大, 具備更強的穿透 能力
軟件功能:
自動計算缺陷面積 圖像增強
厚度測量
文字注釋
著色功能
距離測量
多幅 A-Scan 圖像 Z 軸驅(qū)動限制
Sonix Scan Mode(Sonix 掃描模式)
1. A-Scan(單點掃描)
2. B-Scan(橫截面掃描)
3. C-Scan(面掃描)
4. TAMI(多層掃描)
5. T-scan(穿透掃描)
應(yīng)用領(lǐng)域及分析案例
目前用于電子封裝或組裝分析的主要是C模式的超聲掃描聲學(xué)顯微鏡,它是利用高頻超聲波在材料不連續(xù)界面上反射產(chǎn)生的振幅及位相與極性變化來成像,其掃描方式是沿著Z軸掃描X-Y平面的信息。因此,掃描聲學(xué)顯微鏡可以用來檢測元器件、材料以及PCB與PCBA內(nèi)部的各種缺陷,包括裂紋、分層、夾雜物以及空洞等。如果掃描聲學(xué)的頻率寬度足夠的話,還可以直接檢測到焊點的內(nèi)部缺陷。
典型的掃描聲學(xué)的圖像是以紅色的警示色表示缺陷的存在,由于大量塑料封裝的元器件使用在SMT工藝中,由有鉛轉(zhuǎn)換成無鉛工藝的過程中,大量的潮濕回流敏感問題產(chǎn)生,即吸濕的塑封器件會在更高的無鉛工藝溫度下回流時出現(xiàn)內(nèi)部或基板分層開裂現(xiàn)象,在無鉛工藝的高溫下普通的PCB也會常常出現(xiàn)爆板現(xiàn)象。此時,掃描聲學(xué)顯微鏡就凸現(xiàn)其在多層高密度PCB無損探傷方面的特別優(yōu)勢。而一般的明顯的爆板則只需通過目測外觀就能檢測出來。
非破壞性、無損傷檢測內(nèi)部結(jié)構(gòu),可分層掃描、多層掃描,實施、直觀的圖像及分析,缺陷的測量及百分比的計算,可顯示材料內(nèi)部的三維圖像,對人體是沒有傷害的,可檢測各種缺陷(裂紋、分層、夾雜物、附著物、空洞、孔洞、晶界邊界等) 晶元面處脫層,錫球、晶元、或填膠中之裂縫,晶元傾斜,各種可能之孔洞(晶元接合面、錫球、填膠…等), 覆晶構(gòu)裝之分析。 -
留 言
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產(chǎn)品分類